各相關(guān)單位：

根據(jù)《深圳經(jīng)濟(jì)特區(qū)科技創(chuàng)新促進(jìn)條例》，深圳市第五屆人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)公告，第144號(hào);《關(guān)于促進(jìn)科技創(chuàng)新的若干措施》，中共深圳市委，深發(fā)〔2016〕7號(hào);《深圳市科技計(jì)劃管理改革方案》，深圳市人民政府，深府〔2019〕1號(hào);《深圳市科技計(jì)劃項(xiàng)目管理辦法》，深圳市科技創(chuàng)新委員會(huì)，深科技創(chuàng)新規(guī)〔2019〕1號(hào);《深圳市科技研發(fā)資金管理辦法》，深圳市科技創(chuàng)新委員會(huì)、深圳市財(cái)政局，深科技創(chuàng)新規(guī)〔2019〕2號(hào)文件的相關(guān)規(guī)定，現(xiàn)決定開(kāi)展2020年第一批深圳市技術(shù)攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目（智能裝備專項(xiàng)）的申報(bào)工作。具體要求如下：

? ? ? ?一、申請(qǐng)內(nèi)容

為增強(qiáng)我市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力，提升產(chǎn)業(yè)整體自主創(chuàng)新能力，突破關(guān)鍵零部件等產(chǎn)業(yè)發(fā)展共性關(guān)鍵技術(shù)，聚焦我市戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)、促進(jìn)生態(tài)文明建設(shè)和民生改善等科技領(lǐng)域瓶頸性關(guān)鍵技術(shù)，對(duì)深圳市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)領(lǐng)域、優(yōu)先主題、重點(diǎn)專項(xiàng)的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)予以資助。

二、支持強(qiáng)度與方式

支持強(qiáng)度：有數(shù)量限制，受科技研發(fā)資金年度總額控制，單個(gè)項(xiàng)目資助強(qiáng)度最高不超過(guò)1000萬(wàn)元。

支持方式：事前資助。

　三、申請(qǐng)條件

申請(qǐng)技術(shù)攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目資助應(yīng)當(dāng)符合以下條件：

(一)申請(qǐng)牽頭單位應(yīng)當(dāng)是在深圳市(含深汕特別合作區(qū))內(nèi)依法注冊(cè)、具有獨(dú)立法人資格，且2019年度營(yíng)業(yè)收入在2000萬(wàn)元以上(含2000萬(wàn)元)的國(guó)家或深圳市高新技術(shù)企業(yè)(證書發(fā)證時(shí)間為2017年、2018年或2019年)、技術(shù)先進(jìn)型服務(wù)企業(yè)(證書在受理結(jié)束之日仍在有效期內(nèi));

(二)采用聯(lián)合申報(bào)方式，鼓勵(lì)產(chǎn)學(xué)研用合作攻關(guān)，牽頭單位2019年度營(yíng)業(yè)收入不足1億的，參與單位應(yīng)有1家企業(yè)2019年度營(yíng)業(yè)收入在1億以上(含1億元)。國(guó)內(nèi)(含港澳)具有獨(dú)立法人資格的高校、科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)可作為合作單位參與項(xiàng)目;

(三)申請(qǐng)單位應(yīng)當(dāng)具有良好的研發(fā)基礎(chǔ)和條件(在深具備研發(fā)場(chǎng)地、設(shè)施、人員等條件)、健全的財(cái)務(wù)制度和優(yōu)秀的技術(shù)及管理團(tuán)隊(duì)，能提供相應(yīng)的配套資金，項(xiàng)目自籌資金不低于申請(qǐng)的財(cái)政資助金額;

(四)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人必須為申請(qǐng)牽頭單位的全職在職人員，項(xiàng)目組成員總?cè)藬?shù)的50%以上須在深圳購(gòu)買社會(huì)保險(xiǎn);

(五)聯(lián)合申報(bào)應(yīng)注意以下事項(xiàng)：

1.申請(qǐng)書中填報(bào)合作單位名稱并加蓋合作單位公章;

2.合作協(xié)議中應(yīng)明確申請(qǐng)牽頭單位和合作單位的研發(fā)內(nèi)容分工、知識(shí)產(chǎn)權(quán)分配等相關(guān)內(nèi)容;

3.申請(qǐng)牽頭單位資金分配比例不少于單個(gè)合作單位的分配比例;

4.申請(qǐng)牽頭單位可聯(lián)合國(guó)內(nèi)(含港澳)創(chuàng)新資源共同研發(fā)。深圳市外單位作為合作單位的，按深圳市財(cái)政資助資金有關(guān)管理辦法執(zhí)行。

(六)本項(xiàng)目申請(qǐng)實(shí)行限項(xiàng)制，具體要求是：

1.同一個(gè)法人單位只能牽頭申請(qǐng)1項(xiàng)本批次技術(shù)攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目;

2.已列入科研誠(chéng)信異常名錄的單位和人員不得申請(qǐng);

3.已承擔(dān)2018、2019年技術(shù)攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人不得作為本批次技術(shù)攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目申請(qǐng)的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。

(七)如果項(xiàng)目申請(qǐng)涉及科研倫理與科技安全(如生物安全、信息安全等)的相關(guān)問(wèn)題，申請(qǐng)單位應(yīng)當(dāng)嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家有關(guān)法律法規(guī)和倫理準(zhǔn)則。

四、審批程序

項(xiàng)目征集——發(fā)布課題——申請(qǐng)單位網(wǎng)上申請(qǐng)——市科技創(chuàng)新委對(duì)申請(qǐng)材料進(jìn)行初審——專家評(píng)審——現(xiàn)場(chǎng)核查——市科技創(chuàng)新委審定——市科技創(chuàng)新委下達(dá)項(xiàng)目資金計(jì)劃——申請(qǐng)單位與市科技創(chuàng)新委簽訂項(xiàng)目合同書——撥付資助經(jīng)費(fèi)。

課題內(nèi)容：

　　重2020N001 高精度大扭矩銑削電主軸關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(六)先進(jìn)制造工藝與裝備】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)高精度大扭矩電主軸結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì);

(二)高精度大扭矩銑削電主軸靜、動(dòng)態(tài)特性研究;

(三)高精度大扭矩電主軸軸承承載能力研究;

(四)高精度大扭矩電主軸智能控制。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.電主軸最高轉(zhuǎn)速≥24000 rpm;

2.額定扭矩≥92 N·m;

3.峰值扭矩≥137 N·m;

4.額定功率≥29 kW;

5.主軸錐孔≥HSK-63;

6.主軸300mm端跳動(dòng)≤3μm。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

　重2020N002 半導(dǎo)體大尺寸硅片邊緣精密拋光機(jī)的研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(六)先進(jìn)制造工藝與裝備】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)超聲波輔助邊緣拋光裝置的研發(fā);

(二)拋光鼓加壓系統(tǒng)設(shè)計(jì)與壓力精確控制;

(三)拋光系統(tǒng)硅片邊緣的拋光工藝研究;

(四)硅片自動(dòng)上下料機(jī)器人系統(tǒng)的研發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.適用硅片尺寸：直徑200mm(8寸)和300mm(12寸);

2.每小時(shí)產(chǎn)量：?jiǎn)螜C(jī)≥50片;

3.拋光時(shí)間≤30秒，加持對(duì)位時(shí)間≤32秒;

4.邊緣加工后粗糙度要求(1 ANG= 0.1 nm)：

(1)A-CF(上斜面)≤4.77 ANG;

(2)B-CF(下斜面)≤3.71 ANG;

(3)TOP(正側(cè)面)≤5.57 ANG。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

重2020N003 高精度金剛石工具磨床關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(六)先進(jìn)制造工藝與裝備】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)金剛石刀具刃磨機(jī)理與加工工藝優(yōu)化;

(二)高精度空氣靜壓磨床主軸研發(fā);

(三)高精度氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)研發(fā);

(四)金剛石刀具刃磨質(zhì)量在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)研發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.砂輪主軸組件：

(1)最高轉(zhuǎn)速≥10000rpm，支持雙向旋轉(zhuǎn)與無(wú)級(jí)調(diào)速;

(2)端面跳動(dòng)≤0.5μm;

(3)徑向跳動(dòng)≤0.5μm;

(4)可搭載砂輪直徑≥150mm。

2.旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)組件：

(1)端面跳動(dòng)≤0.1μm;

(2)徑向跳動(dòng)≤0.1μm;

(3)回轉(zhuǎn)定位精度≤0.001rad;

(4)直線進(jìn)給精度≤1μm;

(5)恒力進(jìn)給機(jī)構(gòu):0-450N。

3.刀具及缺陷檢測(cè)指標(biāo)：

(1)刀具加工面粗糙度Ra≤0.02μm;

(2)刀具刃口崩缺≤0.1μm;

(3)刀具缺陷檢出率≥90%;

(4)刀具缺陷檢出時(shí)間≤3秒。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

　重2020N004 半導(dǎo)體高精度刀輪切割機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(六)先進(jìn)制造工藝與裝備】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)高速氣浮電主軸研發(fā)與靜動(dòng)態(tài)性能研究;

(二)高速高精度多維平臺(tái)和快速響應(yīng)硬件系統(tǒng)研發(fā);

(三)高速刀輪切割工藝參數(shù)的優(yōu)化與配置研究;

(四)刀輪機(jī)視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)開(kāi)發(fā)與檢測(cè)算法研究。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.主軸最大轉(zhuǎn)速≥30000rpm;

2.裸軸振動(dòng)≤0.1mm/s @30000rpm;

3.行程：X/Y1/Y2/Z/θ軸 為650mm/550mm/550mm/30mm/380°;

4.重復(fù)性：Y/Z軸≤1μm，θ軸≤3 arcsec;

5.直線度：X軸≤2μm;

5.檢測(cè)指標(biāo)：

(1)刀破檢測(cè)范圍≥0.5mm;

(2)測(cè)高精度≤2μm;

(3)崩邊檢出≥5μm;

(4)飛拍檢測(cè)≥400mm/s。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

　重2020N005 高速高精度倒裝共晶(COF)綁定設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(六)先進(jìn)制造工藝與裝備】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)高速高精度IC芯片取放和綁定裝置的開(kāi)發(fā);

(二)高速高精度機(jī)器視覺(jué)識(shí)別及對(duì)位技術(shù)研究;

(三)高平面度綁定頭控制調(diào)節(jié)技術(shù)研究;

(四)綁定設(shè)備視覺(jué)系統(tǒng)散熱技術(shù)研發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.固晶精度：X/Y≤±1.5 μm;

2.固晶節(jié)拍≤1.35秒(不含制程作用時(shí)間);

3.綁定力：10-343 N;

4.生產(chǎn)方式：卷對(duì)卷;

5.綁定方式：共晶;

6.適應(yīng)晶圓尺寸：8英寸和12英寸。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

重2020N006 高性能集成型磁編碼器關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(四)機(jī)器人】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)磁敏感元器件研發(fā);

(二)微小信號(hào)放大與低噪聲模數(shù)轉(zhuǎn)換技術(shù)研究;

(三)數(shù)字信號(hào)處理與誤差補(bǔ)償算法研究;

(四)編碼器電磁抗擾動(dòng)及可靠性設(shè)計(jì);

(五)磁編碼器的單芯片集成。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.分辨率≥16bit;

2.測(cè)角精度優(yōu)于±0.1° ;

3.最高轉(zhuǎn)速25000rpm;

4.采樣延時(shí)≤1.8μs;

5.工作溫度-40～125℃。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

　重2020N007 面向5G通訊及新型顯示的高精度接近式光刻裝備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(六)先進(jìn)制造工藝與裝備】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)高精度光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā);

(二)高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與調(diào)平系統(tǒng)的研發(fā);

(三)自動(dòng)視覺(jué)對(duì)位系統(tǒng)研制及算法開(kāi)發(fā);

(四)光刻工藝分析與參數(shù)優(yōu)化匹配研究。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.產(chǎn)品最大可定制尺寸：500×500×(0.5-5)mm;

2.光源可定制：500W/1000W/2000W汞燈以及LED光源，波長(zhǎng)365nm (含405,436);

3.光源照度≥40mw/cm2(可定制);

4.光源均勻度偏差優(yōu)于：±3%;

5.對(duì)位精度:±1 μm;

6.平臺(tái)定位精度：±1 μm;

7.曝光分辨率≤2μm，最小線寬1μm，曝光均勻度≤10%;

8.設(shè)備產(chǎn)能≤7.8秒/枚(不包含曝光時(shí)間)。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

　重2020N008 基于主動(dòng)安全與智能交互技術(shù)的協(xié)作機(jī)器人研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(四)機(jī)器人】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)非接觸式智能空間交互與靈巧示教技術(shù)研發(fā);

(二)非接觸式碰撞檢測(cè)與自主避障技術(shù)研發(fā);

(三)接近覺(jué)、觸覺(jué)、力覺(jué)融合的自適應(yīng)柔性作業(yè)技術(shù)研發(fā);

(四)非接觸式主動(dòng)感知協(xié)作機(jī)器人整機(jī)系統(tǒng)開(kāi)發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.重復(fù)定位精度優(yōu)于±0.03mm ;

2.功率限值公差≤10W，動(dòng)量限值公差≤3kg·m/s,力限值公差≤25N，速度限值公差≤50mm/s，停止時(shí)間限值公差≤50ms，停止距離限值公差≤40mm;

3.空間交互示教分辨率≤0.1mm;

4.力傳感單元：測(cè)量精度≤2N，分辨率≤1N，最大測(cè)力值≥100N;

5.非接觸感知檢測(cè)單元：可實(shí)現(xiàn)機(jī)器人包裹穿戴，面積 ≤10cm×10cm, 檢測(cè)距離≥15cm;非接觸式實(shí)時(shí)避障響應(yīng)時(shí)間≤10ms,滿足安全速度≥0.4m/s;

6.觸覺(jué)傳感單元：最小檢測(cè)質(zhì)量0.01g，觸覺(jué)傳感器寬泛感知范圍：10Pa-5MPa;

7.多傳感信息融合的自適應(yīng)柔性作業(yè)工藝包1套。四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

重2020N009 面向3C及半導(dǎo)體精密制造的工業(yè)機(jī)器人關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(四)機(jī)器人】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)基于片上系統(tǒng)(SOC)的驅(qū)控一體、自整定免調(diào)試、防抖技術(shù)研究;

(二)最優(yōu)時(shí)間規(guī)劃、最優(yōu)電流限制和穩(wěn)態(tài)精度技術(shù)研究;

(三)機(jī)器人高可靠性設(shè)計(jì);

(四)高潔凈密封及散熱技術(shù)研究;

(五)機(jī)器人智能視覺(jué)技術(shù)研究。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.標(biāo)準(zhǔn)門型軌跡循環(huán)周期≤0.32s;

2.位置重復(fù)定位精度≤0.01mm;

3.高速下(7.7m/s)軌跡精度≤0.3mm，減速時(shí)間≤0.1s，停止穩(wěn)定時(shí)間≤0.1s;

4.支持機(jī)器視覺(jué)智能飛拍速度≥7.7m/s，支持智能飛拍點(diǎn)數(shù)≥4個(gè);

5.抖動(dòng)抑制：頻率點(diǎn)≥4個(gè)，支持輸入整形和陷波防抖;

6.支持傳送帶動(dòng)態(tài)跟隨與物料抓?。簜魉蛶ё罡咚俣取?00mm/s，抓取精度≤0.35mm;

7.支持視覺(jué)標(biāo)定，標(biāo)定精度≤0.15mm;

8.電流環(huán)：周期≤2μs，頻率響應(yīng)≥3.2kHz。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

重2020N010 設(shè)備健康監(jiān)測(cè)用傳感器及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(三)高性能、智能化儀器儀表】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)面向低頻振動(dòng)測(cè)量的三維振動(dòng)傳感器研發(fā);

(二)面向磨損點(diǎn)位置及關(guān)鍵點(diǎn)溫度變化趨勢(shì)檢測(cè)的平面溫度場(chǎng)傳感器研發(fā);

(三)面向設(shè)備健康狀態(tài)監(jiān)測(cè)的三維聲場(chǎng)傳感器研發(fā);

(四)面向磨損檢測(cè)的位移傳感器研發(fā);

(五)面向機(jī)床健康監(jiān)測(cè)的傳感器布局設(shè)計(jì)與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)研發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.三維振動(dòng)傳感器(g代表重力加速度)：頻率響應(yīng)0.5-4kHz(±5% )，等效噪聲≤80μg/√Hz，零點(diǎn)溫度漂移≤0.75mg/℃,輸出靈敏度典型值100mV/g@±20g;

2.二維溫場(chǎng)傳感器:測(cè)溫范圍-40-300℃，等效溫度噪聲 ≤0.1K @4Hz，像素?cái)?shù)≥192;

3.聲場(chǎng)傳感器:頻率范圍50Hz-16KHz，陣源數(shù)≥36個(gè)，相位一致性≤3°，動(dòng)態(tài)范圍30-126dB，靈敏度≥10mV/Pa，信噪比 ≥65dB;

4.位移傳感器：行程0-5mm，重復(fù)精度≤1μm，使用壽命≥100萬(wàn)次;

5.數(shù)據(jù)處理器：通道數(shù)16，ADC分辨率24bit，采樣率10-128kSa/s/ch，采樣噪聲≤50μVrms，增益漂移典型值16ppm/℃、最大值52ppm/℃;電壓漂移典型值19.2μV/℃、最大值118μV/℃，動(dòng)態(tài)范圍≥102dB。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

　重2020N011 高精密PCB飛針測(cè)試機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(三)高性能、智能化儀器儀表】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)超高速多軸飛針測(cè)試機(jī)精密機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);

(二)八探頭聯(lián)動(dòng)精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)研究;

(三)面向超多網(wǎng)絡(luò)(大于20萬(wàn)相鄰網(wǎng)絡(luò))PCB的飛針測(cè)試軟件研發(fā);

(四)測(cè)試點(diǎn)優(yōu)化編組與測(cè)試路徑優(yōu)化算法研究;

(五)飛針測(cè)試探頭模塊研發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.測(cè)試探頭8個(gè);

2.測(cè)試速度≥4500點(diǎn)/分;

3.最大測(cè)試幅面≥720mm×610mm，最小測(cè)試幅面≤10mm×10mm;

4.測(cè)試最小焊盤尺寸≤0.035mm(1.4mil)，最小焊盤間距≤0.10mm(4.0mil);

5.系統(tǒng)精度±0.001mm ，重復(fù)精度±0.003mm ;

6.探針下針?biāo)俣取?0次/秒，微探針壓力≤2.5g;

7.電容測(cè)試精度≤0.001pF，電阻測(cè)試精度≤0.1mΩ(低阻測(cè)試);

8.測(cè)試電壓(開(kāi)路)0-10V，測(cè)試電壓(短路)≥500V，測(cè)試電流10-300mA。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

重2020N012 新型錐蝸輪減速器關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(七)新型機(jī)械】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)漸開(kāi)螺旋面齒形錐蝸輪傳動(dòng)設(shè)計(jì)理論及優(yōu)化方法研究;

(二)新型錐蝸輪減速器柔性低成本批量化加工方法;

(三)錐蝸輪傳動(dòng)系統(tǒng)集成與應(yīng)用研究。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

安裝距離25mm系列：

1.減速比：?jiǎn)渭?jí)≥60;

2.額定輸入轉(zhuǎn)速：≥3000rpm;

3.額定輸出轉(zhuǎn)矩：≥65N·m;

4.組件重量：≤0.7kg。

安裝距離50mm系列：

5.減速比：?jiǎn)渭?jí)≥120;

6.額定輸入轉(zhuǎn)速：≥3000rpm;

7.額定輸出轉(zhuǎn)矩：≥600Nm;

8.組件重量：≤2.1kg。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

　重2020N013 高精度低噪聲紅外傳感器研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(三)高性能、智能化儀器儀表】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)紅外輻射接收材料連接方式設(shè)計(jì);

(二)紅色輻射透鏡與濾光片設(shè)計(jì);

(三)紅外傳感器溫度補(bǔ)償方法研究;

(四)紅外傳感器封裝設(shè)計(jì)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.波長(zhǎng)范圍8-14μm;

2.感應(yīng)區(qū)域≥0.7mm×0.7mm;

3.熱電堆內(nèi)阻50-90kΩ(環(huán)境溫度25℃);

4.輻射響應(yīng)≥45V/W(輻射源500K黑體，1Hz帶寬，無(wú)濾光片);

5.響應(yīng)時(shí)間≤22ms;

6.噪聲電壓≤25nV/√Hz(環(huán)境溫度25℃);

7.探測(cè)率≥1.1×10 8cm· √Hz/W(環(huán)境溫度25℃,輻射源

500K黑體，1Hz帶寬);

8.熱敏電阻阻值100±0.2k Ω(環(huán)境溫度25℃);

9.熱敏電阻Beta值3964±12K ;

10.傳感器視角≥60(半峰值強(qiáng)度視角寬度)。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

重2020N014 基于玻璃纖維結(jié)構(gòu)的水下油氣生產(chǎn)設(shè)施防護(hù)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(十一)高技術(shù)船舶與海洋工程裝備設(shè)計(jì)制造技術(shù)】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)水下復(fù)合材料保護(hù)結(jié)構(gòu)總體方案研究;

(二)水下復(fù)合材料保護(hù)結(jié)構(gòu)功能設(shè)計(jì)研究;

(三)水下復(fù)合材料保護(hù)結(jié)構(gòu)加工制造研究;

(四)水下復(fù)合材料保護(hù)結(jié)構(gòu)安裝方案研究;

(五)水下復(fù)合材料保護(hù)結(jié)構(gòu)檢驗(yàn)方案研究。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000 萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7 件，其中發(fā)明專利≥3 件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.應(yīng)用水深≥750m;

2.漁網(wǎng)通過(guò)性：不產(chǎn)生拖掛;

3.漁網(wǎng)拖掛設(shè)計(jì)載荷≥2×200kN (相遇角0-20 度);

4.拖板最大設(shè)計(jì)載荷≥300kN(相遇角0-20 度);

5.拖板撞擊設(shè)計(jì)載荷≥13kJ;

6.落物撞擊載荷

直徑500mm 落物，載荷≥20kJ;直徑100mm 落物，載荷≥5kJ。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

重2020N015 基于點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的微納衛(wèi)星主體設(shè)計(jì)與構(gòu)筑關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 三、航空航天–(二)航天技術(shù)】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)微納衛(wèi)星典型點(diǎn)陣材料設(shè)計(jì)與性能分析技術(shù);

(二)微納衛(wèi)星點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù);

(三)微納衛(wèi)星點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)構(gòu)筑技術(shù);

(四)整星結(jié)構(gòu)樣機(jī)研制技術(shù)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000 萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8 件，其中發(fā)明專利≥4 件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

衛(wèi)星結(jié)構(gòu)技術(shù)指標(biāo)：

1.結(jié)構(gòu)包絡(luò)尺寸不小于240mm×240mm×175mm;

2.結(jié)構(gòu)重量≤2.8kg，結(jié)構(gòu)承載能力≥13kg;

3.整星基頻：縱向≥60Hz，橫向≥50Hz，扭轉(zhuǎn)≥50Hz;

4.動(dòng)載荷：正弦振動(dòng)量級(jí)≥3g(5-100Hz)，隨機(jī)振動(dòng)量級(jí)≥10Grms(20-2000Hz)，沖擊量級(jí)≥1500g;

5.熱載荷：真空條件下，-40℃～+65℃;材料技術(shù)指標(biāo)：

6.輕量化材料密度≤1500kg/m3，強(qiáng)度≥300MPa;工藝技術(shù)指標(biāo)：

7.新型制備工藝(3D 打印)結(jié)構(gòu)孔洞收縮量≤0.25%;

8.新型制備工藝(3D 打印)結(jié)構(gòu)表面粗糙度

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

重2020N016 超高動(dòng)態(tài)性能太陽(yáng)能陣列模擬器關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【三、航空航天–(二)航天技術(shù)】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)多場(chǎng)景太陽(yáng)能陣列數(shù)學(xué)模型研究;

(二)超高速非線性I-V 外環(huán)控制方法研究與實(shí)現(xiàn);

(三)超高動(dòng)態(tài)特性太陽(yáng)能陣列模擬器拓?fù)浼夹g(shù)研究;

(四)多場(chǎng)景智能適配測(cè)量和高效人機(jī)交互研究。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000 萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8 件，其中發(fā)明專利≥4 件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

1.最大輸出功率≥1200W;

2.最大開(kāi)路電壓≥130V;

3.最大功率點(diǎn)電壓≥120V;

4.最大短路電流≥10A(單通道);

5.最大功率點(diǎn)電流≥10A(單通道);

6.最大分流功率損耗≤0.29Pm(Pm 為最大功率點(diǎn));

7.額定工作點(diǎn)效率≥68%;

8.自動(dòng)并聯(lián)最大模塊數(shù)≥4;

9.自動(dòng)并聯(lián)最大模塊功率≥4.8kW;

10.曲線解析度：8192;

11.單通道輸出切換頻率≥30kHz;

12.四通道并聯(lián)輸出切換頻率≥5kHz。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

　重2020N017 深海可燃冰原位勘測(cè)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域： 【八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(十一)高技術(shù)船舶與海洋工程裝備設(shè)計(jì)制造技術(shù)】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)可燃冰地層原位測(cè)試數(shù)據(jù)分析方法研究;

(二)深海鉆孔靜力觸探裝置研制;

(三)深?？扇急貙幼糟@式旁壓裝置研制。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000 萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥8 件，其中發(fā)明專利≥4 件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

深海旁壓裝置：

1.側(cè)脹壓力≥3.5MPa;

2.壓力與體積變化量的測(cè)試精度≤5%;

3.最大工作水深≥3000m;

4.鉆孔式(全地層)。

深海靜力觸探(CPT)裝置：

1.測(cè)試量程：

錐尖阻力0-50MPa;

側(cè)壁摩擦力0-1MPa;

超孔隙水壓力0-3.5MPa。

2.貫入裝置：

每回次貫入行程≥3m 或最大貫入力≥50kN;貫入速率≥20mm/s±10% 。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)1000萬(wàn)元

重2020N018 艇用動(dòng)力推進(jìn)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)

一、領(lǐng)域：【 八、先進(jìn)制造與自動(dòng)化–(十一)高技術(shù)船舶與海洋工程裝備設(shè)計(jì)制造技術(shù)】

二、主要研發(fā)內(nèi)容

(一)艇用柴油發(fā)動(dòng)機(jī)輸出扭矩特性優(yōu)化關(guān)鍵技術(shù)研發(fā);

(二)艇用柴油發(fā)動(dòng)機(jī)冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)研發(fā);

(三)艇用柴油發(fā)動(dòng)機(jī)主動(dòng)減振技術(shù)研發(fā);

(四)表面槳推進(jìn)器輕量化技術(shù)研發(fā);

(五)表面槳推進(jìn)器可靠性測(cè)試技術(shù)研發(fā);

(六)艇用動(dòng)力推進(jìn)系統(tǒng)整機(jī)性能和可靠性技術(shù)研發(fā)。

三、項(xiàng)目考核指標(biāo)(項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi))

(一)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)銷售收入(或量產(chǎn)應(yīng)用)≥2000 萬(wàn)元。

(二)學(xué)術(shù)指標(biāo)：申請(qǐng)專利≥7 件，其中發(fā)明專利≥3 件。

(三)技術(shù)指標(biāo)：

艇用柴油發(fā)動(dòng)機(jī)：

1.功率≥117kw/4000rpm;

2.重量≤220kg。

表面槳推進(jìn)器：

1.最大輸入扭矩≥1700N·m;

2.重量≤180kg。

艇用動(dòng)力推進(jìn)系統(tǒng)：

1.最大輸出功率：77kw/1586rpm;

2.最大輸出扭矩：1008N·m/1586rpm;

3.設(shè)計(jì)運(yùn)行壽命大于10000h，實(shí)際測(cè)試持續(xù)運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)大于100h;

4.整機(jī)重量小于475kg。

四、項(xiàng)目實(shí)施期限： 3年

五、資助金額： 不超過(guò)800萬(wàn)元

六、申報(bào)時(shí)間：2020年6月5日-2020年6月30